全球及中国氮化铝（aln）模板行业运行态势及投资战略分析报告2021-2028年 详情内容请咨询鸿晟信合研究院！ 【全新修订】：2022年2月 【撰写单位】：鸿晟信合研究研究
【报告目录】 1 氮化铝（aln）模板市场概述 1.1 氮化铝（aln）模板行业概述及统计范围 1.2 按照不同产品类型，氮化铝（aln）模板主要可以分为如下几个类别 1.2.1 不同产品类型氮化铝（aln）模板增长趋势2018 vs 2021 vs 2027 1.2.2 蓝宝石基aln薄膜模板 1.2.3 硅基aln薄膜模板 1.3 从不同应用，氮化铝（aln）模板主要包括如下几个方面 1.3.1 不同应用氮化铝（aln）模板增长趋势2018 vs 2021 vs 2027 1.3.2 uvc led 1.3.3 其他 1.4 行业发展现状分析 1.4.1 氮化铝（aln）模板行业发展总体概况 1.4.2 氮化铝（aln）模板行业发展主要特点 1.4.3 氮化铝（aln）模板行业发展影响因素 1.4.4 进入行业壁垒 1.4.5 发展趋势及建议
2 行业发展现状及前景预测 2.1 全球氮化铝（aln）模板行业供需及预测分析（2018-2021） 2.1.1 全球氮化铝（aln）模板产能、产量、产能利用率及发展趋势（2018-2021） 2.1.2 全球氮化铝（aln）模板产量、需求量及发展趋势（2018-2021） 2.1.3 全球主要地区氮化铝（aln）模板产量及发展趋势（2018-2021） 2.2 中国氮化铝（aln）模板供需及预测分析（2018-2021） 2.2.1 中国氮化铝（aln）模板产能、产量、产能利用率及发展趋势（2018-2021） 2.2.2 中国氮化铝（aln）模板产量、市场需求量及发展趋势（2018-2021） 2.2.3 中国氮化铝（aln）模板产能和产量占全球的比重 2.3 全球氮化铝（aln）模板销量及收入 2.3.1 全球市场氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 2.3.2 全球市场氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 2.3.3 全球市场氮化铝（aln）模板价格趋势（2018-2021） 2.4 中国氮化铝（aln）模板销量及收入 2.4.1 中国市场氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 2.4.2 中国市场氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 2.4.3 中国市场氮化铝（aln）模板销量和收入占全球的比重
3 全球氮化铝（aln）模板主要地区分析 3.1 全球主要地区氮化铝（aln）模板市场规模分析：2018 vs 2021 vs 2027 3.1.1 全球主要地区氮化铝（aln）模板销售收入及市场份额（2018-2021年） 3.1.2 全球主要地区氮化铝（aln）模板销售收入预测（2022-2027年） 3.2 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量分析：2018 vs 2021 vs 2027 3.2.1 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量及市场份额（2018-2021年） 3.2.2 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量及市场份额预测（2022-2027） 3.3 北美（美国和加拿大） 3.3.1 北美（美国和加拿大）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 3.3.2 北美（美国和加拿大）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 3.4 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家） 3.4.1 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 3.4.2 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 3.5 亚太地区（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等） 3.5.1 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 3.5.2 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 3.6 拉美地区（墨西哥、巴西等国家） 3.6.1 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 3.6.2 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 3.7 中东及非洲 3.7.1 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 3.7.2 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）
4 行业竞争格局 4.1 全球市场竞争格局分析 4.1.1 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板产能市场份额 4.1.2 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 4.1.3 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入（2018-2021） 4.1.4 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售价格（2018-2021） 4.1.5 2021年全球主要生产商氮化铝（aln）模板收入排名 4.2 中国市场竞争格局 4.2.1 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 4.2.2 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入（2018-2021） 4.2.3 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售价格（2018-2021） ? 5 不同产品类型氮化铝（aln）模板分析 5.1 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 5.1.1 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量及市场份额（2018-2021） 5.1.2 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量预测（2021-2026） 5.2 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 5.2.1 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入及市场份额（2018-2021） 5.2.2 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027） 5.3 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板价格走势（2018-2021） 5.4 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 5.4.1 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量及市场份额（2018-2021） 5.4.2 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量预测（2021-2026） 5.5 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 5.5.1 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入及市场份额（2018-2021） 5.5.2 中国市场不同产品类型氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）
6 不同应用氮化铝（aln）模板分析 6.1 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 6.1.1 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板销量及市场份额（2018-2021） 6.1.2 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板销量预测（2022-2027） 6.2 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 6.2.1 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板收入及市场份额（2018-2021） 6.2.2 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027） 6.3 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板价格走势（2018-2021） 6.4 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板销量（2018-2021） 6.4.1 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板销量及市场份额（2018-2021） 6.4.2 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板销量预测（2021-2026） 6.5 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板收入（2018-2021） 6.5.1 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板收入及市场份额（2018-2021） 6.5.2 中国市场不同应用氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）
7 行业发展环境分析 7.1 氮化铝（aln）模板行业技术发展趋势 7.2 氮化铝（aln）模板行业主要的增长驱动因素 7.3 氮化铝（aln）模板中国企业swot分析 7.4 中国氮化铝（aln）模板行业政策环境分析 7.4.1 行业主管部门及监管体制 7.4.2 行业相关政策动向 7.4.3 行业相关规划 7.4.4 政策环境对氮化铝（aln）模板行业的影响
8 行业供应链分析 8.1 全球产业链趋势 8.2 氮化铝（aln）模板行业产业链简介 8.3 氮化铝（aln）模板行业供应链分析 8.3.1 主要原料及供应情况 8.3.2 行业下游情况分析 8.3.3 上下游行业对氮化铝（aln）模板行业的影响 8.4 氮化铝（aln）模板行业采购模式 8.5 氮化铝（aln）模板行业生产模式 8.6 氮化铝（aln）模板行业销售模式及销售渠道
9.1 dowa electronics materials 9.1.1 dowa electronics materials基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.1.2 dowa electronics materials产品规格、参数及市场应用 9.1.3 dowa electronics materials氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.1.4 dowa electronics materials爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.1.5 dowa electronics materials企业最新动态 9.2 photon wave (pw) 9.2.1 photon wave (pw)基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.2.2 photon wave (pw)产品规格、参数及市场应用 9.2.3 photon wave (pw)氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.2.4 photon wave (pw)爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.2.5 photon wave (pw)企业最新动态 9.3 sciocs 9.3.1 sciocs基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.3.2 sciocs产品规格、参数及市场应用 9.3.3 sciocs氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.3.4 sciocs爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.3.5 sciocs企业最新动态 9.4 lumigntech 9.4.1 lumigntech基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.4.2 lumigntech产品规格、参数及市场应用 9.4.3 lumigntech氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.4.4 lumigntech爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.4.5 lumigntech企业最新动态 9.5 kyma technologies 9.5.1 kyma technologies基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.5.2 kyma technologies产品规格、参数及市场应用 9.5.3 kyma technologies氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.5.4 kyma technologies爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.5.5 kyma technologies企业最新动态 9.6 奥趋光电 9.6.1 奥趋光电基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.6.2 奥趋光电产品规格、参数及市场应用 9.6.3 奥趋光电氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.6.4 奥趋光电爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.6.5 奥趋光电企业最新动态 9.7 kmtec 9.7.1 kmtec基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.7.2 kmtec产品规格、参数及市场应用 9.7.3 kmtec氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.7.4 kmtec爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.7.5 kmtec企业最新动态 9.8 aixatech gmbh 9.8.1 aixatech gmbh基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.8.2 aixatech gmbh产品规格、参数及市场应用 9.8.3 aixatech gmbh氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.8.4 aixatech gmbh爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.8.5 aixatech gmbh企业最新动态 9.9 nitride solutions inc. 9.9.1 nitride solutions inc.基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.9.2 nitride solutions inc.产品规格、参数及市场应用 9.9.3 nitride solutions inc.氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.9.4 nitride solutions inc.爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.9.5 nitride solutions inc.企业最新动态 9.10 trinitri-technology llc 9.10.1 trinitri-technology llc基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.10.2 trinitri-technology llc产品规格、参数及市场应用 9.10.3 trinitri-technology llc氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.10.4 trinitri-technology llc爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.10.5 trinitri-technology llc企业最新动态 9.11 合肥彩虹蓝光科技有限公司 9.11.1 合肥彩虹蓝光科技有限公司基本信息、氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 9.11.2 合肥彩虹蓝光科技有限公司产品规格、参数及市场应用 9.11.3 合肥彩虹蓝光科技有限公司氮化铝（aln）模板销量、收入、价格及毛利率（2018-2021） 9.11.4 合肥彩虹蓝光科技有限公司爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 9.11.5 合肥彩虹蓝光科技有限公司企业最新动态
10 中国市场氮化铝（aln）模板产量、销量、进出口分析及未来趋势 10.1 中国市场氮化铝（aln）模板产量、销量、进出口分析及未来趋势（2018-2021） 10.2 中国市场氮化铝（aln）模板进出口贸易趋势 10.3 中国市场氮化铝（aln）模板主要进口来源 10.4 中国市场氮化铝（aln）模板主要出口目的地 10.5 中国市场未来发展的有利因素、不利因素分析
11 中国市场氮化铝（aln）模板主要地区分布 11.1 中国氮化铝（aln）模板生产地区分布 11.2 中国氮化铝（aln）模板消费地区分布
12 研究成果及结论
13 附录 13.1 研究方法 13.2 数据来源 13.2.1 二手信息来源 13.2.2 一手信息来源 13.3 数据交互验证
报告图表 表1 不同产品类型氮化铝（aln）模板增长趋势2018 vs 2021 vs 2027（百万美元） 表2 不同应用氮化铝（aln）模板增长趋势2018 vs 2021 vs 2027（百万美元） 表3 氮化铝（aln）模板行业发展主要特点 表4 氮化铝（aln）模板行业发展有利因素分析 表5 氮化铝（aln）模板行业发展不利因素分析 表6 进入氮化铝（aln）模板行业壁垒 表7 氮化铝（aln）模板发展趋势及建议 表8 全球主要地区氮化铝（aln）模板产量（片）：2018 vs 2021 vs 2027 表9 全球主要地区氮化铝（aln）模板产量（2018-2021）&（片） 表10 全球主要地区氮化铝（aln）模板产量市场份额（2018-2021） 表11 全球主要地区氮化铝（aln）模板产量（2022-2027）&（片） 表12 全球主要地区氮化铝（aln）模板销售收入（百万美元）：2018 vs 2021 vs 2027 表13 全球主要地区氮化铝（aln）模板销售收入（2018-2021）&（百万美元） 表14 全球主要地区氮化铝（aln）模板销售收入市场份额（2018-2021） 表15 全球主要地区氮化铝（aln）模板收入（2022-2027）&（百万美元） 表16 全球主要地区氮化铝（aln）模板收入市场份额（2022-2027） 表17 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量（片）：2018 vs 2021 vs 2027 表18 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表19 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表20 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量（2022-2027）&（片） 表21 全球主要地区氮化铝（aln）模板销量份额（2022-2027） 表22 北美氮化铝（aln）模板基本情况分析 表23 北美（美国和加拿大）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表24 北美（美国和加拿大）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）&（百万美元） 表25 欧洲氮化铝（aln）模板基本情况分析 表26 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表27 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）&（百万美元） 表28 亚太地区氮化铝（aln）模板基本情况分析 表29 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表30 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）&（百万美元） 表31 拉美地区氮化铝（aln）模板基本情况分析 表32 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表33 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）&（百万美元） 表34 中东及非洲氮化铝（aln）模板基本情况分析 表35 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表36 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）氮化铝（aln）模板收入（2018-2021）&（百万美元） 表37 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板产能（2021-2021）&（片） 表38 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表39 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板产量市场份额（2018-2021） 表40 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入（2018-2021）&（百万美元） 表41 全球市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入市场份额（2018-2021） 表42 2021年全球主要生产商氮化铝（aln）模板收入排名（百万美元） 表43 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销量（2018-2021）&（片） 表44 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表45 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入（2018-2021）&（百万美元） 表46 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售收入市场份额（2018-2021） 表47 中国市场主要厂商氮化铝（aln）模板销售价格（2018-2021） 表48 2021年中国主要生产商氮化铝（aln）模板收入排名（百万美元） 表49 全球主要厂商氮化铝（aln）模板产地分布及商业化日期 表50 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板销量（2018-2021年）&（片） 表51 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表52 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板销量预测（2022-2027）&（片） 表53 全球市场不同产品类型氮化铝（aln）模板销量市场份额预测（2022-2027） 表54 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板收入（2018-2021年）&（百万美元） 表55 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板收入市场份额（2018-2021） 表56 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）&（百万美元） 表57 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板收入市场份额预测（2022-2027） 表58 全球不同产品类型氮化铝（aln）模板价格走势（2018-2021） 表59 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板销量（2018-2021年）&（片） 表60 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表61 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板销量预测（2022-2027）&（片） 表62 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板销量市场份额预测（2022-2027） 表63 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板收入（2018-2021年）&（百万美元） 表64 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板收入市场份额（2018-2021） 表65 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）&（百万美元） 表66 中国不同产品类型氮化铝（aln）模板收入市场份额预测（2022-2027） 表67 全球不同应用氮化铝（aln）模板销量（2018-2021年）&（片） 表68 全球不同应用氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表69 全球不同应用氮化铝（aln）模板销量预测（2022-2027）&（片） 表70 全球市场不同应用氮化铝（aln）模板销量市场份额预测（2022-2027） 表71 全球不同应用氮化铝（aln）模板收入（2018-2021年）&（百万美元） 表72 全球不同应用氮化铝（aln）模板收入市场份额（2018-2021） 表73 全球不同应用氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）&（百万美元） 表74 全球不同应用氮化铝（aln）模板收入市场份额预测（2022-2027） 表75 全球不同应用氮化铝（aln）模板价格走势（2018-2021） 表76 中国不同应用氮化铝（aln）模板销量（2018-2021年）&（片） 表77 中国不同应用氮化铝（aln）模板销量市场份额（2018-2021） 表78 中国不同应用氮化铝（aln）模板销量预测（2022-2027）&（片） 表79 中国不同应用氮化铝（aln）模板销量市场份额预测（2022-2027） 表80 中国不同应用氮化铝（aln）模板收入（2018-2021年）&（百万美元） 表81 中国不同应用氮化铝（aln）模板收入市场份额（2018-2021） 表82 中国不同应用氮化铝（aln）模板收入预测（2022-2027）&（百万美元） 表83 中国不同应用氮化铝（aln）模板收入市场份额预测（2022-2027） 表84 氮化铝（aln）模板行业技术发展趋势 表85 氮化铝（aln）模板行业主要的增长驱动因素 表86 氮化铝（aln）模板行业供应链分析 表87 氮化铝（aln）模板上游原料供应商 表88 氮化铝（aln）模板行业下游客户分析 表89 氮化铝（aln）模板行业主要下游客户 表90 上下游行业对氮化铝（aln）模板行业的影响 表91 氮化铝（aln）模板行业主要经销商 表92 dowa electronics materials氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表93 dowa electronics materials爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表94 dowa electronics materials氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表95 dowa electronics materials氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表96 dowa electronics materials企业最新动态 表97 photon wave (pw)氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表98 photon wave (pw)爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表99 photon wave (pw)氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表100 photon wave (pw)氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表101 photon wave (pw)企业最新动态 表102 sciocs氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表103 sciocs爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表104 sciocs氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表105 sciocs氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表106 sciocs企业最新动态 表107 lumigntech氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表108 lumigntech爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表109 lumigntech氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表110 lumigntech氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表111 lumigntech企业最新动态 表112 kyma technologies氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表113 kyma technologies爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表114 kyma technologies氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表115 kyma technologies氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表116 kyma technologies企业最新动态 表117 奥趋光电氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表118 奥趋光电爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表119 奥趋光电氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表120 奥趋光电氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 表121 奥趋光电企业最新动态 表122 kmtec氮化铝（aln）模板生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位 表123 kmtec爱游戏官网登录入口的简介及主要业务 表124 kmtec氮化铝（aln）模板产品规格、参数及市场应用 表125 kmtec氮化铝（aln）模板销量（片）、收入（百万美元）、价格及毛利率（2018-2021） 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图49 关键采访目标 图50 自下而上及自上而下验证 图51 资料三角测定
引言
在本文中，我们报道了基于晶片尺度纳米多孔（np）algan的深紫外（duv）分布布拉格反射器（dbr），在280 nm处反射率为95%，使用通过aln/蓝宝石模板上生长的外延周期性堆叠n-al0.62ga0.38n/u-al0.62ga0.38n结构（mocvd）。在加热的氢氧化钾水溶液中，采用简单的一步选择性湿法蚀刻法制备了dbr。为了研究氢氧化钾电解液温度对纳米孔形成的影响，计算了蚀刻过程中的电荷消耗量，并用扫描电镜（sem）和原子力显微镜（afm）对dbr的表面和截面形貌进行了表征。随着电解质温度的升高，纳米孔增大，电荷量减少，这表明刻蚀过程是电化学和化学蚀刻的结合。三角形的纳米孔和六边形的凹坑进一步限制了化学蚀刻过程。我们的工作证明了一种简单的湿蚀刻来制造高高效的dbr，这将适用于基于algan的microc duv器件。
基于algan的深紫外（duv）垂直腔表面发射激光器、谐振腔led和探测器在灭菌、通信、数据存储、生化检测等方面具有广泛的应用潜力。高折射率氮化物分布布拉格反射器（dbrs）由高折射率和低折射率的交替层组成，是这些微腔结构器件运行的重要要求1。在过去的几十年里，只有少数研究小组报道了氮化物深紫外线（duv）dbr的制备，主要是aln/algan和alinn/algan2-8。不幸的是，由于低折射率对比度，或由于大晶格和热不匹配而限制晶体质量，它们表现出不充分的反射率。
实验
如图1a所示，外延结构由1.5μm厚的aln bufer和40对n-al0.62ga0.38n/无意的al0.62ga0.38n（28nm/30nm）dbr层组成，生长在2-in上。c平面蓝宝石衬底采用金属有机化学气相沉积（mocvd）。在生长过程中，以三甲基铝（tma）、三甲基镓（tmg）和氨（氨）分别作为铝、镓和氮源。硅烷（硅烷）为n型掺杂气体。氢气被用作载气。在这种生长模式下，algan flms的te表面为iii极性。n-al0.62ga0.38n的te硅掺杂浓度为4×1018cm?2，无意的al0.62ga0.38n（u-al0.62ga0.38n）约为1×1016cm?2。在电化学蚀刻前，在样品边缘焊接铟形成良好的电接触。将10个algan样品放在1m氢氧化钾水溶液中，以铂（pt）板为对电极，阳极氧化蚀刻5 min。在蚀刻过程中，用电加热板加热恒温。在蚀刻后，样品用去离子水冲洗，并在n2中干燥。
图1. (a)结构示意图；在不同电解质温度下的氢氧化钾电解质中制备的(b) te反射率谱，未蚀刻样品和在65°c下的模拟；在(c) 25°c，(d)45°c，(d)45°c，(e) 65°c和(f) 85°c的横断面扫描电镜图像。?
结果与讨论
图1b显示了在不同的电解质温度下，在25 v直流偏置下蚀刻的np-dbr的反射率谱。te腐蚀样品的回复率在duv地区低（<30%），并明显下降在257海里对应的吸收边缘al0.62ga0.38n。发生ece，回流峰出现在278海里附近，峰值回复率增加电解液加热从25到65°c，然后减少在85°c.tus，在65时最高，为95%°c.为了研究电解液温度对回流率的影响，对不同电解液温度下制备的dbr的截面形态进行了表征。如图1c-e所示，纳米孔呈明显的层状分布，集中在n-al0.62ga0.38n中。（江苏英思特半导体科技有限公司）
同时，电子（e?）被转移到pt电极上，参与还原反应：2h2o 2e?→h2 2oh?。根据法拉第电解定律，电流密度和通过源计的电荷量分别与ece速率和algan进行氧化还原反应的质量成正比。图3a显示了在25 v下ece过程中的j-t图。te电流在23 s蚀刻后下降到0，表明ece过程发生在frst 23 s内。当温度升高时，由于氧化物在较热的氢氧化钾溶液中溶解速度较快，初始电流密度增加。图3b为ece过程中的电荷消耗量，这是通过积分j?t图得到的。随着温度的升高，te电荷的数量降低，说明氧化还原反应的质量降低。?（江苏英思特半导体科技有限公司）
图3.在25 v和不同温度下的氢氧化钾溶液中蚀刻的dbrs的(a)j-t图；(b) te集成电荷密度随温度的函数；(c)电化学蚀刻单元示意图，在25 v和不同温度下的氢氧化钾溶液中蚀刻的纳米孔和algan晶体结构。
结论
综上所述，通过在热氢氧化钾水溶液中蚀刻40对n-al0.62ga0.38n/ual0.62ga0.38n flm，成功地制备了一种晶片级的duv dbr。te ec扩大了电化学蚀刻形成的纳米孔的尺寸，从而提高了n-algan层的孔隙率，通过优化电解质温度，在280 nm处获得了95%的反射率。采用简单的蚀刻方法可以避免制备晶片级duv dbr在外延生长过程中由于晶格和热错配而引起的各种问题，这对于基于algan的duv微腔器件的制备具有重要意义。（江苏英思特半导体科技有限公司）
书籍：《炬丰科技-半导体工艺》 文章：有效释放低缺陷密度aln 蓝宝石模板的aln厚膜拉应力 编号：jfkj-21-1174 作者：华林科纳
如何利用高温(ht)金属有机化学气相沉积(mocvd)有效地释放氮化铝(aln)厚膜中的拉伸应力，允许低缺陷密度的铝/蓝宝石模板的生长。这种技术能够提高深紫外线发光二极管(duvled)的性能。 duvled在水/空气/表面灭菌、非视线通信、光电离和气体/dna传感方面具有广泛的应用潜力。由于缺乏大规模和低成本的天然aln衬底，现有的duvled主要是在aln/蓝宝石模板上制造的。然而，aln脱毛层和蓝宝石衬底会产生较高的线程位错密度(tdd)。因此，对tdd极其敏感的无铟duvled的光输出功率不足。 通过增加aln厚薄膜来降低aln/蓝宝石模板中的tdd，使位移能够爬上长距离进行相互湮灭。该技术的关键是通过引入高密度纳米孔，有效地释放aln厚薄膜中的拉伸应力。 aln薄膜的生长是由nauraitopsa230aln溅射系统中的2英寸（0001）蓝宝石衬底上的20纳米厚的aln缓冲液开始的。随后，利用aixtron折叠喷头（中国化学会）高温(ht)金属有机化学气相沉积(mocvd)系统，在溅射的aln/蓝宝石上制备了厚aln薄膜。随后的结构包括300nm厚的htaln-1层(1230°c)、350nm厚的中温(mt)aln层间(930°c)和4950nm厚的htaln-2层(1235°c)。aln薄膜的总厚度约为5.6μm。此外，还生长了一个5.6μm厚的无mt层间的aln薄膜以进行比较
原位曲率瞬变表明，在htaln-2生长过程中，有mt层的aln厚膜(图1(b))的曲率上升速度远小于没有mt层的aln厚膜(图1(a))，表明拉应力要弱得多。含mt层间的aln厚薄膜的极限拉伸应力强度为0.18gpa，与无mt层间相比降低了64%。 图2 (a)无mt夹层的aln厚膜和?有mt夹层的aln厚膜的照片。(b)无mt层的aln厚膜和(d)有mt层的aln厚膜的光学图像。无mt层间的aln厚薄膜的照片（图2）显示，无裂纹区域仅占晶片总面积的44%。开裂和剥落的可能性非常高。与之形成鲜明对比的是，带有mt夹层的aln厚薄膜呈镜状表面，除2mm边缘外，没有任何裂纹。一般来说，这种厚且无裂纹的aln只能通过外延横向过度生长(elog)技术来获得。它进一步证明了引入了mtaln夹层能有效减轻拉应力。
图3中的横断面扫描透射电子显微镜(stem)形态图像显示，引入mt层间可产生高密度(1.7x1010cm-2)纳米样，长40-700nm，宽10-90nm。这些纳米孔被认为通过减少接触面积，有效地破坏了mt层间和随后的脱毛层之间的相干性，从而显著降低了拉伸应力。 高分辨率x射线衍射(hr-xrd)测量结果表明，mt夹层aln薄膜的晶体质量也有显著提高。无mt层间的aln厚薄膜的（002）和（102）反射的fwhms分别为94弧秒和382弧秒。虽然具有mt层间的aln厚薄膜的（002）反射的fwhm略有增加到122弧秒，但（102）反射的fwhm显著降低到196弧秒。横截面stem结果表明，mt层间aln厚膜中的纳米空洞可导致位错终止，由于空洞的长宽比较大，在聚结边界处几乎没有产生新的位错。此外，在随后的生长过程中，样品b中很大一部分残留位错经历了90°的弯曲。最后，将带有mt夹层的aln厚膜的tdd值降低到极低的4.7x107cm-2。 这种技术为实现高性能的深紫外led和其他基于aln的光电/电子器件铺平了道路。
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